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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD精密小(xiao)型真空磁控濺射儀器

精密小型真空磁控濺射儀器

產品簡介

精密小型真空磁(ci)控濺射儀(yi)器鄭(zheng)州科探(tan)KT-Z1650PVD,能(neng)夠在(zai)非導電或導電不良的樣(yang)品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜(mo)。 在(zai)較短時間內即可(ke)形成(cheng)具有(you)細粒度(du)的均勻薄膜(mo),使樣(yang)品適用于掃描電子顯(xian)微鏡(SEM)分析。儀(yi)器結構緊湊(cou),全自動控制,設計符(fu)合人體(ti)工程學,所得結果(guo)一致(zhi),可(ke)重復性高。

產品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:918
詳(xiang)細介紹在線留言
品牌鄭科探產地類別國產
應用領域環保,能源,電子,冶金,航天

鄭州科探儀器設備是高質量定制物理 氣相沉積(PVD)系統的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發新設計以滿足客戶的特殊要求。

   鄭科探的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。

儀器描(miao)述:

精密小型真空磁控濺射儀器,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。


    產品特點(dian):

    彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速

    • 通(tong)過觸摸屏中(zhong)直觀(guan)檢測數據(ju)和(he)曲(qu)線;歷史頁面可顯示(shi)歷史涂層信息。

    • 可控鍍膜速率,可得到更(geng)精細的晶粒結構

    • 可(ke)手動(dong)或自動(dong),根據時間或根據厚(hou)度進行濺射

• 樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)更(geng)換簡單:標準旋轉(zhuan)樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)或(huo)選(xuan)用(yong)行星式旋轉(zhuan)樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)。標準樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)高度(du)可(ke)調、可(ke)傾(qing)斜(xie)、可(ke)旋轉(zhuan);行星式旋轉(zhuan)樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)為多孔樣(yang)(yang)品(pin)帶來好的噴金效果(guo)。

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精密小型真空磁控濺射儀器技術參數;

控制方式

7寸人機界面(mian) 手動 自(zi)動模式(shi)切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍(du)膜功(gong)能(neng)

0-999秒5段可變換(huan)功率及(ji)擋板位和(he)樣品(pin)速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空(kong)

機(ji)械泵 ≤5Pa(5分(fen)(fen)鐘(zhong))   分(fen)(fen)子泵≤5*10^-3Pa

濺(jian)射真空(kong)

≤30Pa

擋板(ban)類型

電控

真(zhen)空(kong)腔室

石英+不銹(xiu)鋼腔體φ160mm x 170mm

樣(yang)品臺

可旋轉φ62  (可安裝(zhuang)φ50基底)

樣品臺轉(zhuan)速(su)

8轉(zhuan)/分鐘(zhong)

樣品濺(jian)射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍(wei)10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣(qi)口(kou)    KF16放氣(qi)口(kou)   6mm卡套(tao)進氣(qi)口(kou)








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