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Product Center精密小型真空磁(ci)控濺射儀(yi)器鄭(zheng)州科探(tan)KT-Z1650PVD,能(neng)夠在(zai)非導電或導電不良的樣(yang)品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜(mo)。 在(zai)較短時間內即可(ke)形成(cheng)具有(you)細粒度(du)的均勻薄膜(mo),使樣(yang)品適用于掃描電子顯(xian)微鏡(SEM)分析。儀(yi)器結構緊湊(cou),全自動控制,設計符(fu)合人體(ti)工程學,所得結果(guo)一致(zhi),可(ke)重復性高。
品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 環保,能源,電子,冶金,航天 |
鄭州科探儀器設備是高質量定制物理 氣相沉積(PVD)系統的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發新設計以滿足客戶的特殊要求。
鄭科探的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。
儀器描(miao)述:
精密小型真空磁控濺射儀器,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。
產品特點(dian):
• 彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速
• 通(tong)過觸摸屏中(zhong)直觀(guan)檢測數據(ju)和(he)曲(qu)線;歷史頁面可顯示(shi)歷史涂層信息。
• 可控鍍膜速率,可得到更(geng)精細的晶粒結構
• 可(ke)手動(dong)或自動(dong),根據時間或根據厚(hou)度進行濺射
• 樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)更(geng)換簡單:標準旋轉(zhuan)樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)或(huo)選(xuan)用(yong)行星式旋轉(zhuan)樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)。標準樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)高度(du)可(ke)調、可(ke)傾(qing)斜(xie)、可(ke)旋轉(zhuan);行星式旋轉(zhuan)樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)(tai)為多孔樣(yang)(yang)品(pin)帶來好的噴金效果(guo)。
精密小型真空磁控濺射儀器技術參數;
控制方式 | 7寸人機界面(mian) 手動 自(zi)動模式(shi)切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜功(gong)能(neng) | 0-999秒5段可變換(huan)功率及(ji)擋板位和(he)樣品(pin)速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空(kong) | 機(ji)械泵 ≤5Pa(5分(fen)(fen)鐘(zhong)) 分(fen)(fen)子泵≤5*10^-3Pa |
濺(jian)射真空(kong) | ≤30Pa |
擋板(ban)類型 | 電控 |
真(zhen)空(kong)腔室 | 石英+不銹(xiu)鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣(yang)品臺 | 可旋轉φ62 (可安裝(zhuang)φ50基底) |
樣品臺轉(zhuan)速(su) | 8轉(zhuan)/分鐘(zhong) |
樣品濺(jian)射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍(wei)10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 | KF25抽氣(qi)口(kou) KF16放氣(qi)口(kou) 6mm卡套(tao)進氣(qi)口(kou) |