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Product Center半導(dao)體真(zhen)空磁控(kong)濺射儀器(qi)鄭(zheng)州(zhou)科探(tan)KT-Z1650PVD,能夠在(zai)非導(dao)電(dian)(dian)或導(dao)電(dian)(dian)不(bu)良的樣(yang)品(pin)上涂布(bu)金(jin)(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金(jin)/鈀(Au / Pd)的薄(bo)膜(mo)。 在(zai)較短時間內即可形成(cheng)具(ju)有細粒度的均勻薄(bo)膜(mo),使樣(yang)品(pin)適用于掃描電(dian)(dian)子顯微鏡(SEM)分析。儀器(qi)結(jie)(jie)構緊(jin)湊,全自動控(kong)制(zhi),設計符合(he)人體工程學,所得結(jie)(jie)果(guo)一致,可重復性高。
品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 環保,能源,電子,冶金,航天 |
鄭州科探儀器設備是高質量定制物理 氣相沉積(PVD)系統的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發新設計以滿足客戶的特殊要求。
鄭科探的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。
儀(yi)器描(miao)述:
半導體真空磁控濺射儀器,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。
產(chan)品特點:
• 彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速
• 通過觸摸(mo)屏中直觀(guan)檢測數據和曲(qu)線(xian);歷(li)史頁(ye)面可顯示歷(li)史涂層(ceng)信息。
• 可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結構
• 可手動或自動,根據(ju)時間或根據(ju)厚(hou)度進(jin)行濺(jian)射
• 樣(yang)(yang)(yang)(yang)品臺更換簡單:標準旋轉樣(yang)(yang)(yang)(yang)品臺或(huo)選用(yong)行(xing)星式(shi)旋轉樣(yang)(yang)(yang)(yang)品臺。標準樣(yang)(yang)(yang)(yang)品臺高度可(ke)調、可(ke)傾斜、可(ke)旋轉;行(xing)星式(shi)旋轉樣(yang)(yang)(yang)(yang)品臺為(wei)多孔樣(yang)(yang)(yang)(yang)品帶來好的噴金效(xiao)果。
半導體真空磁控濺射儀器技術參數;
控制方式(shi) | 7寸(cun)人(ren)機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜功(gong)能 | 0-999秒5段可(ke)變(bian)換功(gong)率及擋板位和(he)樣品速度程(cheng)序 |
功(gong)率 | ≤1000W |
輸出電(dian)(dian)壓電(dian)(dian)流 | 電(dian)壓≤1000V 電(dian)流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa(5分(fen)鐘(zhong)) 分(fen)子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板(ban)類(lei)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英(ying)+不銹鋼腔(qiang)體φ160mm x 170mm |
樣品(pin)臺 | 可旋轉φ62 (可安(an)裝φ50基(ji)底) |
樣品臺轉速 | 8轉/分(fen)鐘(zhong) |
樣品濺射源調節距(ju)離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(ji)(已(yi)安裝 測量(liang)范圍(wei)10E5Pa 1E-1Pa) |
預(yu)留真空接口 | KF25抽氣(qi)口(kou) KF16放氣(qi)口(kou) 6mm卡套進氣(qi)口(kou) |