類型

高溫(wen)型室(shi)溫(wen)到350℃

高低溫型 室溫到350℃  室溫到-196℃

腔體(ti)材質(zhi)

304不銹(xiu)鋼 6061鋁合金 可(ke)選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外尺(chi)寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重量

不銹鋼材質(zhi) 約(yue)1.5KG     鋁(lv)合(he)金材質 約0.5KG

腔(qiang)體(ti)上(shang)視窗尺寸

Φ42mm（可選(xuan)配凹(ao)視窗(chuang)用于減少(shao)窗(chuang)口和樣品之間距(ju)離）

腔體(ti)抽氣口

KF16法蘭（其(qi)余接口規格(ge)可轉接）

腔體真空(kong)測量口

KF16法蘭(lan)（其余(yu)接口規格可轉接）

腔體(ti)進氣口

6mm快擰(ning) 或(huo) 6mm快插

腔體(ti)冷卻方(fang)式

腔(qiang)體(ti)水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

腔體正(zheng)壓

≤0.05MPa

腔(qiang)體真空(kong)度

機械泵≤5Pa （5分(fen)鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣(yang)品臺材質

不(bu)銹鋼(gang) 銀銅合金 純銀塊

銀銅合(he)金(jin) 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺(tai)加熱方(fang)式

電(dian)阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹視(shi)窗用于減少窗口和樣品(pin)之間距離到6mm）

樣(yang)品(pin)臺測溫(wen)傳感器(qi)

PT100型熱(re)電阻

樣(yang)品臺溫度

室溫到400℃

室(shi)溫到400℃  室溫到-196℃

樣品臺(tai)測(ce)溫誤差

±0.5℃

樣(yang)品臺升溫速率

高溫100℃/min  低溫(wen)7℃/min

溫(wen)控儀(yi)

溫(wen)度顯示(shi)

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定(ding)

溫度分(fen)辨(bian)率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度(du)信號(hao)輸入(ru)類型

PT100 （可(ke)選K  S  B型熱(re)電偶）

溫控輸出

直流線性電源(yuan)加熱

直流線性電(dian)源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數據采(cai)集(ji)并導出 實時溫度(du)曲線+歷史溫(wen)度(du)曲線 可(ke)擴展真空讀數(shu)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器(qi)重(zhong)量

約5.6KG

探針(zhen)

電(dian)信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三(san)同軸接頭  SMA 接頭 香(xiang)蕉插頭 線長1.2米(mi)

電(dian)學(xue)性能

絕緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓(ya) ≤200V    電(dian)流(liu)噪(zao)聲 ≤10pA

探針數量

4探(tan)針（可擴展(zhan)5探(tan)針(zhen)）

探針材質

鍍金(jin)鎢針(zhen) （其他材質可選(xuan)）

探(tan)針(zhen)尖

10μm

手動探針移動平(ping)臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手動(dong)推(tui)動(dong)滑臺(tai)）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需手動旋轉(zhuan)探針桿）

R軸控制精(jing)度

≥500μm

Z軸(zhou)移動(dong)行程

2mm    ±1mm

Z軸控制(zhi)精度

≤50μm（需手動螺紋調(diao)節探針桿(gan)）