類型

高溫型室(shi)溫到350℃

高低溫(wen)型(xing) 室溫(wen)到350℃  室溫(wen)到-196℃

腔(qiang)體材(cai)質

304不銹鋼 6061鋁合(he)金 可(ke)選

腔體內尺寸(cun)

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔(qiang)體重量

不銹(xiu)鋼(gang)材質(zhi) 約(yue)(yue)1.5KG     鋁合金材質(zhi) 約(yue)(yue)0.5KG

腔體上(shang)視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹(ao)視窗用(yong)于減少(shao)窗口(kou)和樣品之間距離(li)）

腔體抽氣口

KF16法蘭(lan)（其(qi)余接口規(gui)格可轉(zhuan)接）

腔體真(zhen)空(kong)測量口

KF16法蘭（其余接口規格可(ke)轉(zhuan)接）

腔體進氣口

6mm快擰 或(huo) 6mm快插

腔體冷(leng)卻方(fang)式

腔體水冷(leng)+上(shang)蓋氣冷(leng)

腔(qiang)體水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(ji)械泵(beng)≤5Pa （5分鐘(zhong)）  分子泵(beng)≤5E-3Pa（30分鐘(zhong)）

樣品臺

樣品臺材質

不(bu)銹(xiu)鋼 銀(yin)銅合金(jin) 純銀(yin)塊

銀(yin)銅合金 純銀(yin)塊

樣(yang)品(pin)臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加(jia)熱(re)

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選(xuan)配凹視窗用于減少窗口和(he)樣品之(zhi)間距離(li)到6mm）

樣品臺測溫傳感器

PT100型(xing)熱電阻

樣品(pin)臺溫度

室(shi)溫到400℃

室溫到(dao)400℃   室溫到(dao)-196℃

樣品臺(tai)測(ce)溫誤差

±0.5℃

樣品(pin)臺升溫速率(lv)

高溫(wen)100℃/min    低溫(wen)7℃/min

溫(wen)控儀

溫度顯示

7寸人機界面(mian)

溫(wen)控類型(xing)

標準PID溫(wen)控 +自整定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度(du)

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可選K  S  B型熱電偶）

溫(wen)控輸出

直流線(xian)性電源加熱

直流(liu)(liu)線(xian)性電源加熱+液氮流(liu)(liu)速控制器(qi)

輔助功能

溫(wen)(wen)度(du)數據采集并導出 實時溫(wen)(wen)度(du)曲線(xian)+歷史溫(wen)(wen)度(du)曲線(xian) 可擴展真空讀數接(jie)口

溫(wen)控器(qi)尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量(liang)

約5.6KG

探針

電信號接頭(tou)

配線轉(zhuan)接(jie) BNC接(jie)頭   BNC三同軸接(jie)頭  SMA 接(jie)頭 香蕉插(cha)頭 線長1.2米

電學性能

絕(jue)緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ     介(jie)質耐壓 ≤200V    電流(liu)噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量(liang)

4探(tan)針（可擴展5探(tan)針）

探針材(cai)質

鍍(du)金鎢針(zhen) （其他材(cai)質(zhi)可(ke)選）

探針(zhen)尖

10μm

手(shou)動(dong)探針移動(dong)平臺(tai)

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手(shou)動(dong)推動(dong)滑臺(tai)）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需手動旋(xuan)轉探針桿）

R軸(zhou)控制(zhi)精(jing)度

≥500μm

Z軸移動行(xing)程

2mm    ±1mm

Z軸控制(zhi)精度

≤50μm（需手(shou)動螺(luo)紋調節(jie)探針桿）