類(lei)型

高溫型室溫到(dao)350℃

高低溫型 室溫(wen)到350℃  室溫到-196℃

腔體(ti)材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體(ti)內尺(chi)寸(cun)

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重(zhong)量

不銹鋼材(cai)質 約1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上(shang)視(shi)窗尺寸

Φ42mm（可選(xuan)配(pei)凹視窗用于減少窗口和(he)樣品之間距(ju)離）

腔(qiang)體抽氣口(kou)

KF16法蘭（其余(yu)接口規(gui)格可轉接）

腔體(ti)真(zhen)空(kong)測量口

KF16法蘭(lan)（其余(yu)接口規格可轉接）

腔體(ti)進(jin)氣口

6mm快擰 或(huo) 6mm快插

腔體冷卻方式

腔(qiang)體(ti)水(shui)冷(leng)+上蓋(gai)氣冷

腔體水(shui)冷接(jie)口

腔體(ti)正(zheng)壓

≤0.05MPa

腔體真(zhen)空(kong)度

機械泵≤5Pa （5分鐘(zhong)）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣(yang)品臺材(cai)質

不銹(xiu)鋼 銀銅(tong)合金 純(chun)銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣(yang)品臺-視窗 距離

11mm（可選(xuan)配凹視窗用于減少(shao)窗口和樣品之間距離到6mm）

樣品(pin)臺測(ce)溫傳感器

PT100型(xing)熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃  室溫(wen)到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高(gao)溫100℃/min  低溫(wen)7℃/min

溫控(kong)儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫(wen)控類型(xing)

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨(bian)率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信(xin)號輸入類型

PT100 （可(ke)選K  S  B型熱電偶）

溫控輸出

直流(liu)線性電(dian)源加熱

直流線性電源加熱+液(ye)氮流速控制器

輔助功能

溫(wen)度數據(ju)采集并導出(chu) 實時溫度(du)曲線+歷史溫度曲線 可擴展真(zhen)空讀數接口(kou)

溫控(kong)器(qi)尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探(tan)針

電(dian)信號(hao)接頭

配線轉接(jie) BNC接頭   BNC三(san)同軸接(jie)頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米(mi)

電學性(xing)能

絕緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量

4探針（可擴展(zhan)5探針）

探(tan)針材質(zhi)

鍍金(jin)鎢針 （其他材質可(ke)選）

探針尖

10μm

手動探針移動平(ping)臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手(shou)動推動滑臺）

X軸控(kong)制精度

≥500μm

R軸(zhou)移動行(xing)程

120°    ±60°（需手動旋轉探針桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動(dong)螺紋調(diao)節(jie)探針桿）