類型

高(gao)溫型室溫到350℃

高(gao)低(di)溫型 室溫到350℃  室(shi)溫到-196℃

腔體材質

304不銹(xiu)鋼 6061鋁合(he)金(jin) 可選

腔體(ti)內(nei)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 約1.5KG     鋁合(he)金材質 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗(chuang)用于減少窗(chuang)口和(he)樣(yang)品之間距離）

腔體(ti)抽(chou)氣口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體(ti)(ti)真空測量口

KF16法(fa)蘭(lan)（其余(yu)接(jie)口規格(ge)可轉(zhuan)接(jie)）

腔(qiang)體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體(ti)水冷(leng)+上(shang)蓋氣冷

腔體(ti)水冷接(jie)口

腔體(ti)正壓

≤0.05MPa

腔體真(zhen)空度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子(zi)泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣(yang)品臺

樣(yang)品臺材質

不(bu)銹(xiu)鋼(gang) 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣(yang)品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加(jia)熱 液氮制冷(leng)

樣品臺-視(shi)窗 距離(li)

11mm（可選配凹視窗(chuang)用于減少窗(chuang)口和樣品之間距離到6mm）

樣品(pin)臺(tai)測(ce)溫(wen)傳(chuan)感器

PT100型(xing)熱電阻

樣品臺溫(wen)度

室溫(wen)到400℃

室溫到400℃  室溫到(dao)-196℃

樣品(pin)臺測(ce)溫誤差

±0.5℃

樣品臺升(sheng)溫速(su)率

高溫(wen)100℃/min  低溫(wen)7℃/min

溫控儀(yi)

溫(wen)度顯示

7寸人機界面

溫控類(lei)型

標準PID溫控 +自整定

溫(wen)度分辨(bian)率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可選K  S  B型熱電偶）

溫(wen)控輸(shu)出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速(su)控制(zhi)器

輔助功能(neng)

溫度數據采集并導出 實時溫(wen)度(du)曲線(xian)+歷史溫(wen)度曲線 可擴展(zhan)真(zhen)空(kong)讀數接口

溫(wen)控(kong)器尺(chi)寸

32cmX170cmX380cm

溫(wen)控器重量

約5.6KG

探針(zhen)

電信號接頭

配線轉接(jie) BNC接頭   BNC三(san)同軸接(jie)頭  SMA 接(jie)頭 香蕉插(cha)頭 線長1.2米

電學性(xing)能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介(jie)質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量

4探針（可擴展5探(tan)針(zhen)）

探針(zhen)材質

鍍金鎢針 （其他材質可(ke)選）

探針尖(jian)

10μm

手動(dong)探針移動(dong)平臺

X軸移動行(xing)程

20mm    ±10mm（需手動推動滑臺）

X軸(zhou)控(kong)制(zhi)精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需手動旋轉(zhuan)探(tan)針桿）

R軸控制精度(du)

≥500μm

Z軸(zhou)移動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需(xu)手動螺紋調節探針桿）