類型

高溫(wen)型室溫(wen)到350℃

高低溫(wen)型 室(shi)溫到(dao)350℃  室溫(wen)到-196℃

腔體(ti)材質

304不銹鋼(gang) 6061鋁合金 可選

腔體(ti)(ti)內尺(chi)寸(cun)

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸(cun)

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重量

不(bu)銹鋼(gang)材質 約1.5KG     鋁合金材質(zhi) 約0.5KG

腔體上視窗尺寸(cun)

Φ42mm（可選配凹視窗(chuang)用(yong)于減少窗(chuang)口(kou)和樣品(pin)之(zhi)間距離）

腔體(ti)抽氣口

KF16法蘭（其余接(jie)口規格可轉接(jie)）

腔體(ti)真空測(ce)量(liang)口(kou)

KF16法蘭（其(qi)余接口規(gui)格可轉接）

腔(qiang)體進氣口(kou)

6mm快擰 或 6mm快插(cha)

腔體冷卻方式(shi)

腔體水冷+上蓋(gai)氣冷

腔體水冷接口

腔體正(zheng)壓(ya)

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵(beng)≤5Pa （5分鐘）  分(fen)子泵(beng)≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材(cai)質(zhi)

不銹鋼 銀(yin)銅合金 純(chun)銀(yin)塊

銀銅合(he)金 純銀塊

樣品臺尺(chi)寸(cun)

26x26mm

樣品臺(tai)加熱方(fang)式

電(dian)阻加(jia)熱

電阻加熱 液氮制(zhi)冷(leng)

樣品臺-視窗 距離

11mm（可(ke)選配凹(ao)視窗用于(yu)減(jian)少窗口和(he)樣品之間(jian)距離到6mm）

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度(du)

室溫到400℃

室(shi)溫到400℃  室溫到-196℃

樣品(pin)臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升(sheng)溫速(su)率

高溫(wen)100℃/min  低溫7℃/min

溫控儀(yi)

溫度(du)顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整(zheng)定

溫度分(fen)辨率(lv)

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信(xin)號(hao)輸入類(lei)型(xing)

PT100 （可(ke)選K  S  B型熱電偶）

溫控(kong)輸出

直(zhi)流(liu)線性電(dian)源加熱

直流(liu)線性電(dian)源加熱+液(ye)氮流速控制器

輔助功(gong)能

溫度數據采集(ji)并(bing)導(dao)出 實時溫度(du)曲線+歷史溫度曲線 可(ke)擴展真空讀(du)數接口

溫控器尺寸(cun)

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信(xin)號接頭

配線轉接 BNC接(jie)頭   BNC三同軸接頭(tou)  SMA 接頭 香蕉插頭(tou) 線長1.2米

電學性能(neng)

絕緣電(dian)阻(zu) ≥4000MΩ     介質耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探(tan)針數量

4探針(zhen)（可擴展(zhan)5探針(zhen)）

探針材質

鍍金鎢針(zhen) （其他材質(zhi)可選）

探針尖

10μm

手動(dong)探針移(yi)動(dong)平(ping)臺

X軸移動行程(cheng)

20mm    ±10mm（需手動(dong)推動(dong)滑臺）

X軸控制(zhi)精度

≥500μm

R軸(zhou)移動行程

120°    ±60°（需手動旋轉探針桿）

R軸(zhou)控制(zhi)精度

≥500μm

Z軸移(yi)動行程

2mm    ±1mm

Z軸(zhou)控制精度

≤50μm（需手動螺紋(wen)調節(jie)探(tan)針桿）