類(lei)型

高溫型室(shi)溫到350℃

高(gao)低溫(wen)型 室溫到(dao)350℃  室溫到-196℃

腔體材質

304不(bu)銹鋼 6061鋁合金 可(ke)選(xuan)

腔體(ti)內尺寸(cun)

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外(wai)尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體(ti)重量

不銹鋼材質 約(yue)1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可(ke)選配凹視窗(chuang)用于(yu)減少窗(chuang)口(kou)和樣品之間距離(li)）

腔體抽(chou)氣(qi)口

KF16法蘭（其余接口規格可轉(zhuan)接）

腔體真空測量(liang)口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體進氣口

6mm快擰 或(huo) 6mm快插

腔(qiang)體冷卻方式

腔體水(shui)冷+上蓋氣冷

腔體水冷接(jie)口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體(ti)(ti)真空度

機械(xie)泵≤5Pa （5分鐘(zhong)）  分(fen)子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質(zhi)

不(bu)銹鋼 銀(yin)銅(tong)合金 純銀塊

銀銅合金 純銀(yin)塊(kuai)

樣品臺尺(chi)寸

26x26mm

樣品臺加熱(re)方式

電阻加(jia)熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可(ke)選配凹視(shi)窗用(yong)于減少窗口和樣(yang)品之間距離到6mm）

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電(dian)阻

樣(yang)品臺溫度

室溫到400℃

室溫(wen)到400℃  室溫到-196℃

樣品(pin)臺測溫誤差

±0.5℃

樣(yang)品臺(tai)升溫(wen)速率

高溫100℃/min  低溫(wen)7℃/min

溫控(kong)儀(yi)

溫度(du)顯示

7寸人機界面

溫控類型

標(biao)準(zhun)PID溫控 +自整定(ding)

溫度分(fen)辨率

0.1℃

溫(wen)控(kong)精(jing)度(du)

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可(ke)選K  S  B型熱電偶）

溫控輸出

直流線(xian)性電(dian)源加熱

直(zhi)流(liu)線性(xing)電源加熱+液氮流速(su)控制器(qi)

輔助功能

溫度數(shu)據采集并導(dao)出(chu) 實時溫度曲線+歷史(shi)溫度曲線(xian) 可擴展真空(kong)讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器(qi)重量

約5.6KG

探針(zhen)

電信(xin)號接(jie)頭

配線(xian)轉(zhuan)接 BNC接頭   BNC三同(tong)軸接頭(tou)  SMA 接頭(tou) 香蕉插頭 線長1.2米

電學(xue)性(xing)能

絕(jue)緣(yuan)電阻(zu) ≥4000MΩ     介質(zhi)耐壓 ≤200V    電流(liu)噪聲(sheng) ≤10pA

探針數量(liang)

4探針（可擴展5探針）

探針材質(zhi)

鍍金鎢針 （其他材質可選）

探針尖

10μm

手(shou)動探(tan)針(zhen)移動平臺(tai)

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手動推動滑臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移(yi)動行程

120°    ±60°（需(xu)手動旋(xuan)轉(zhuan)探針(zhen)桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行(xing)程

2mm    ±1mm

Z軸控制(zhi)精(jing)度

≤50μm（需手動螺(luo)紋調(diao)節(jie)探針桿）