類型

高(gao)溫型室溫到(dao)350℃

高低(di)溫型(xing) 室溫到(dao)350℃  室(shi)溫到(dao)-196℃

腔體材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外(wai)尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 約1.5KG     鋁(lv)合(he)金材(cai)質 約0.5KG

腔體(ti)上(shang)視窗尺寸(cun)

Φ42mm（可選配凹視窗用(yong)于減少窗口(kou)和(he)樣品之間(jian)距離）

腔體(ti)抽氣口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體(ti)真(zhen)空測(ce)量(liang)口

KF16法蘭（其余(yu)接(jie)(jie)口規格可(ke)轉接(jie)(jie)）

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻(que)方(fang)式

腔體(ti)水冷+上蓋氣冷

腔體水(shui)冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵(beng)≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺(tai)

樣品臺材質(zhi)

不銹鋼 銀銅(tong)合金 純銀塊

銀(yin)銅合金 純(chun)銀塊

樣品臺(tai)尺寸

26x26mm

樣(yang)品臺加熱方式

電阻加熱

電阻(zu)加熱 液氮制冷

樣(yang)品臺-視窗 距離

11mm（可選(xuan)配凹(ao)視窗用于減(jian)少窗口和樣品(pin)之間距離到6mm）

樣品臺(tai)測溫傳感(gan)器

PT100型熱電阻

樣品臺(tai)溫度(du)

室溫到400℃

室溫到(dao)400℃  室溫到-196℃

樣品臺(tai)測溫誤差(cha)

±0.5℃

樣品臺(tai)升溫(wen)速率

高溫100℃/min  低溫(wen)7℃/min

溫控儀(yi)

溫度顯示

7寸(cun)人機界面

溫控(kong)類型(xing)

標準PID溫控 +自整定

溫度(du)分辨率

0.1℃

溫控(kong)精度

±0.5℃

溫度信(xin)號(hao)輸入類(lei)型

PT100 （可選K  S  B型熱電偶）

溫控輸(shu)出

直流線性電(dian)源加熱

直流線性電(dian)源加熱+液氮流(liu)速控(kong)制(zhi)器(qi)

輔(fu)助功能

溫(wen)度數據采集并導出 實(shi)時(shi)溫度曲(qu)線+歷(li)史溫度曲(qu)線 可擴(kuo)展真空讀數接口(kou)

溫控器尺(chi)寸

32cmX170cmX380cm

溫(wen)控器重量

約5.6KG

探針(zhen)

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸(zhou)接頭  SMA 接(jie)頭 香(xiang)蕉插頭(tou) 線長1.2米(mi)

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐(nai)壓 ≤200V    電流噪聲(sheng) ≤10pA

探針數量(liang)

4探針（可擴展5探針(zhen)）

探針材(cai)質

鍍金(jin)鎢針 （其他材質(zhi)可(ke)選）

探針尖(jian)

10μm

手動探針移動平(ping)臺

X軸移(yi)動行程

20mm    ±10mm（需手動推動滑臺）

X軸控(kong)制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需手(shou)動(dong)旋轉探針桿）

R軸控(kong)制(zhi)精(jing)度

≥500μm

Z軸移(yi)動行程

2mm    ±1mm

Z軸(zhou)控制(zhi)精度

≤50μm（需手動螺紋調節(jie)探針桿）