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氣(qi)(qi)體(ti)(ti)液(ye)體(ti)(ti)配比混合 流量精確(que)控制(zhi)主要(yao)用(yong)于氣(qi)(qi)體(ti)(ti)液(ye)體(ti)(ti)混合配比,液(ye)體(ti)(ti)加熱產生氣(qi)(qi)體(ti)(ti)并用(yong)其他(ta)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)做載氣(qi)(qi),為等離子沉積(ji)cvd沉積(ji)或(huo)其他(ta)特定設備提(ti)供氣(qi)(qi)氛環境. 控制(zhi)方式采用(yong)集成(cheng)化(hua)模塊控制(zhi) 功能延伸性(xing)強(qiang) 根據客戶(hu)要(yao)求隨意添加， 該氣(qi)(qi)體(ti)(ti)配比器(qi)也可以選擇多(duo)種液(ye)體(ti)(ti)和氣(qi)(qi)體(ti)(ti)混合。詳情請聯系客服(fu)人員(yuan)溝(gou)通

液體氣(qi)體混合(he)配(pei)比器(qi) 用于對氣(qi)體的(de)質量(liang)流(liu)量(liang)進(jin)行精(jing)密測量(liang)；質量(liang)流(liu)量(liang)控制器(qi)（Mass Flow Controller縮(suo)寫為MFC）用于對氣(qi)體的(de)質量(liang)流(liu)量(liang)進(jin)行精(jing)密測量(liang)和(he)控制。  它們在半導體微電子(zi)工業、特種(zhong)材(cai)料研制、化(hua)學工業、石(shi)油工業、醫(yi)藥、環保和(he)真空等(deng)多種(zhong)領域的(de)科研和(he)生產中(zhong)有著重要的(de)應(ying)用。其典型的(de)應(ying)用場合(he)包括； 電子(zi)工藝設備(bei)，如擴散(san)、氧化(hua)、外延、CVD、等(deng)