產品中心
Product Center混合氣(qi)體配(pei)比(bi)氣(qi)體混配(pei)器流(liu)量流(liu)量配(pei)比(bi)可將多種氣(qi)體安(an)一定(ding)比(bi)例均勻混合后通(tong)入到管式爐中。各(ge)種氣(qi)體的流(liu)量是通(tong)過精密的質量流(liu)量計來控制,流(liu)量計和混氣(qi)罐(guan)都安(an)裝在(zai)一個移動柜內。此系列(lie)設(she)備可用于搭建CVD系統,也(ye)可為(wei)樣品(pin)退(tui)火提供所需的氣(qi)氛環境.
手動(dong)氣(qi)體流量(liang)配(pei)比器(qi)可以外(wai)接3或多種氣(qi)體,采用質子型流量(liang)計,氣(qi)路管(guan)道(dao)采用316拋光管(guan)制作耐腐(fu)蝕(shi)性強.氣(qi)路接頭(tou)采用全不(bu)銹鋼(gang)雙(shuang)卡套(tao)快(kuai)速接頭(tou),方便(bian)連(lian)接且(qie)不(bu)易(yi)泄漏.
多(duo)(duo)通道氣(qi)體(ti)配比(bi)器 氣(qi)體(ti)混合(he)器可以外接(jie)(jie)3或(huo)多(duo)(duo)種(zhong)氣(qi)體(ti),采(cai)用質子(zi)型(xing)流量計(ji),氣(qi)路(lu)管(guan)道采(cai)用316拋光(guang)管(guan)制(zhi)作耐腐蝕(shi)性強(qiang).氣(qi)路(lu)接(jie)(jie)頭采(cai)用全不(bu)銹鋼(gang)雙(shuang)卡套快速接(jie)(jie)頭,方便(bian)連接(jie)(jie)且不(bu)易(yi)泄漏(lou)
該多路氣體(ti)配比器(qi) 三進一出可(ke)以外接(jie)3或多種氣體(ti),采用質(zhi)子型流量計,氣路管(guan)道采用316拋光管(guan)制作耐腐蝕性強.氣路接(jie)頭采用全(quan)不銹(xiu)鋼雙卡套快(kuai)速接(jie)頭,方便連接(jie)且不易(yi)泄漏(lou).
氣(qi)液(ye)(ye)體(ti)(ti)混合配比(bi)器 氮氣(qi)標定(ding)流量(liang)計主要(yao)用于氣(qi)體(ti)(ti)液(ye)(ye)體(ti)(ti)混合配比(bi),液(ye)(ye)體(ti)(ti)加熱產生氣(qi)體(ti)(ti)并用其(qi)他氣(qi)體(ti)(ti)做載氣(qi),為等離子沉(chen)積cvd沉(chen)積或其(qi)他特(te)定(ding)設(she)備提供氣(qi)氛環(huan)境. 控(kong)制(zhi)方式采用集成化模塊控(kong)制(zhi) 功(gong)能延伸(shen)性強 根(gen)據(ju)客戶要(yao)求隨意添(tian)加