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不(bu)銹(xiu)鋼(gang)加(jia)熱真空腔(qiang)體(ti)主要用(yong)于(yu)氣體(ti)敏(min)感材(cai)料(liao)或其他對(dui)環(huan)境(jing)敏(min)感性材(cai)料(liao)中的電(dian)信號測試(shi)。測試(shi)腔(qiang)體(ti)內部裝有(you)不(bu)銹(xiu)鋼(gang)加(jia)熱承(cheng)載臺，臺面(mian)為50x50mm，臺面(mian)可升溫到350℃。

6探(tan)(tan)針氣(qi)體(ti)環(huan)境密封真空探(tan)(tan)針臺(tai) 探(tan)(tan)針臺(tai) 高(gao)溫(wen)探(tan)(tan)針測試(shi)臺(tai) 變溫(wen)探(tan)(tan)針臺(tai)真空高(gao)低溫(wen)光電器件測試(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)

流量(liang)計數量(liang)：5個，（根據客戶需(xu)求標定 氣(qi)體 量(liang)程(cheng) 進氣(qi)口和出氣(qi)口） 氣(qi)體環境(jing)密封(feng) 6探針真(zhen)空探針臺(tai)測試(shi)腔 流量(liang)規格：500 ml/min 精準度：±1.0% S.P.（≥30% F.S.）±0.30% F.S.（＜30% F.S.） 重(zhong)復精度：±0.2% F.S 響(xiang)應時(shi)間：≤1 s 密封(feng)形(xing)式：金屬密封(feng) 接(jie)頭尺寸(cun)：6 mm 漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s 通訊接(jie)口：RS485

方型真空(kong)加(jia)熱(re)腔(qiang)主要(yao)用于氣體(ti)敏感材料或其他對(dui)環(huan)境敏感性材料中的(de)電信(xin)(xin)號測(ce)試(shi)(shi)。測(ce)試(shi)(shi)腔(qiang)體(ti)內部(bu)裝有(you)不銹(xiu)鋼加(jia)熱(re)承(cheng)載臺(tai)，臺(tai)面為φ100mm，臺(tai)面可升溫(wen)到(dao)350℃。該腔(qiang)體(ti)設計(ji)有(you)進(jin)氣口和抽真空(kong)接(jie)(jie)口和2-4芯(xin)信(xin)(xin)號真空(kong)電極，多可選用6芯(xin)電極。使用時將(jiang)需檢測(ce)的(de)器件(jian)固(gu)定在(zai)加(jia)熱(re)臺(tai)上，由(you)內部(bu)探針(zhen)行(xing)將(jiang)樣品電極引(yin)入腔(qiang)體(ti)的(de)信(xin)(xin)號線連接(jie)(jie)到(dao)外(wai)部(bu)測(ce)試(shi)(shi)儀器，外(wai)部(bu)信(xin)(xin)號線連接(jie)(jie)測(ce)試(shi)(shi)儀器來測(ce)試(shi)(shi)電子信(xin)(xin)號。

真(zhen)空低溫探針臺主要應用(yong)于半導體行業(ye)、光電(dian)行業(ye)、集成(cheng)電(dian)路以及封(feng)裝(zhuang)的(de)測(ce)試。廣泛應用(yong)于復雜(za)、高速(su)器件的(de)精(jing)密電(dian)氣(qi)測(ce)量(liang)的(de)研(yan)發(fa)，旨在確保質量(liang)及可靠性，并縮減研(yan)發(fa)時(shi)間和器件制造工藝的(de)成(cheng)本