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Product Center等離(li)子(zi)清洗機作(zuo)為一(yi)種微(wei)觀固體表(biao)面的(de)處理(li)設設備,是一(yi)種全新的(de)表(biao)面處理(li)方案。等離(li)子(zi)體是物質(zhi)的(de)一(yi)種狀態(tai)(tai),也叫做物質(zhi)的(de)第四態(tai)(tai)。對氣體施(shi)加足夠的(de)能量使(shi)之離(li)化便成(cheng)為等離(li)子(zi)狀態(tai)(tai)。等離(li)子(zi)體的(de)“活性(xing)(xing)"組分包括(kuo):離(li)子(zi)、電(dian)子(zi)、活性(xing)(xing)基(ji)團、激發(fa)態(tai)(tai)的(de)核素(亞穩態(tai)(tai))、光子(zi)等。通(tong)過利用這(zhe)些活性(xing)(xing)組分的(de)性(xing)(xing)質(zhi)來處理(li)樣品表(biao)面,從而實現清潔等目的(de)。
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相關文章(zhang)品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 電子 |
等離子清洗機作為一種微觀(guan)固體(ti)表(biao)(biao)面(mian)的(de)處理設設備,是一種全新的(de)表(biao)(biao)面(mian)處理方案。等(deng)離子(zi)體(ti)是物質的(de)一種狀態,也叫做物質的(de)第四(si)態。對氣(qi)體(ti)施加足夠的(de)能量使之離化便(bian)成為等(deng)離子(zi)狀態。等(deng)離子(zi)體(ti)的(de)“活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔等目的。
等離子清洗機主要應(ying)用(yong)于半導體、鍍(du)膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
內置(zhi)高純石英倉體,采用了新型的電極(ji)結(jie)構(gou)設計和固(gu)態電源技術,使其有效容積(ji)增大,不同真空(kong) 氣體(ti)(ti)環境下(xia)容易匹(pi)配,且控制(zhi)頻率穩定(ding)。真空倉門(men)有觀(guan)察窗,可直觀(guan)物體(ti)(ti)的(de)處理過程,其射頻電(dian)源(yuan)與(yu)控制(zhi)都(dou)組(zu)裝在(zai)一個機箱內,即(ji)減少了(le)空間的(de)占(zhan)用,更便于操(cao)作和放置,同時與(yu)大型(xing)清洗機相(xiang)比較,從檢(jian)測功能與(yu)控制(zhi)功能的(de)設置上均可一個面板(ban)上操(cao)作,特(te)別適用科學實驗(yan) 樣品清(qing)洗(xi) 和教學。
技術資料;
設備型號 | KT-Z2DQX | KT-S2DQX | KT-Z5DQX |
控制方式 | 7寸觸摸屏人機(ji)界面 | 7寸(cun)觸摸屏人(ren)機界面 | 7寸觸摸(mo)屏人機界面 |
供電電源 | AC220V(AC110V可選(xuan)) | ||
工作電(dian)流 | 整機工作電流不大于3.5A(不(bu)含真空(kong)泵) | ||
射(she)頻電源(yuan)功率 | 1000W | 150W | 300W |
匹配方式 | 自動匹配 | 手動匹配(pei) | 自動匹配(pei) |
清(qing)洗頻率 | 40KHz | 13.56MHz | |
耦合方式 | 電容(rong)耦(ou)合 | ||
工作真空 | ≤50Pa | ||
腔體材質 | 高純(chun)石英 | ||
腔體容積 | 2L(內徑110MMX深(shen)度220MM) | 2L(內徑110MMX深(shen)度220MM) | 5L(內徑160MMX深度310MM) |
觀(guan)察(cha)窗內徑 | Φ50 | Φ50 | Φ70 |
氣體流量 | 0-300ml/min(熱式質量流(liu)量傳感器X2個) | ||
真空計(ji)量(liang)程 | 1E5Pa至1E-1Pa(皮拉(la)尼(ni)真空計) | ||
過(guo)程控制 | 手動/自動(dong)切換(huan) | 手動/自動(dong)切換(huan) | 手動/自動切換 |
清洗時間(jian) | 自動(dong)開關 | ||
開蓋方式 | 鉸(jiao)鏈(lian)側開式法蘭(lan) | ||
外形(xing)尺(chi)寸 | 150*500*250mm | 450*460*370mm | 530*580*420mm |
重量 | 20kg | 35kg | 40kg |
真空室(shi)溫(wen)度 | 小于65°C | ||
冷卻方式 | 強(qiang)制風冷 | ||
標配 | KF16真空管1米(mi),kf16卡(ka)箍(gu)2個,不銹鋼網匣1個,電(dian)源線一根,說明書(shu)一本。 |