等離子體技術應用作為(wei)一(yi)種微(wei)觀固體表(biao)面(mian)(mian)的處(chu)理設設備，是一(yi)種全新的表(biao)面(mian)(mian)處(chu)理方案。等(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)體是物質的一(yi)種狀(zhuang)態(tai)(tai)，也叫做物質的第四態(tai)(tai)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為(wei)等(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)狀(zhuang)態(tai)(tai)。等(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)體的“活(huo)性(xing)"組分包括：離子(zi)(zi)(zi)(zi)、電子(zi)(zi)(zi)(zi)、活(huo)性(xing)基團(tuan)、激(ji)發態(tai)(tai)的核(he)素(su)（亞穩態(tai)(tai)）、光(guang)子(zi)(zi)(zi)(zi)等(deng)。等(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)清(qing)(qing)洗(xi)機就是通過利用這(zhe)些活(huo)性(xing)組分的性(xing)質來(lai)處(chu)理樣品表(biao)面(mian)(mian)，從(cong)而實現清(qing)(qing)潔等(deng)目的。

等離子體技術應用主要應(ying)用(yong)于(yu)半導(dao)體(ti)、鍍膜工藝(yi)、PCB制程、PCB制程、元器件(jian)封裝前(qian)、COG前(qian)、真(zhen)空電(dian)子(zi)、連接器和繼電(dian)器等(deng)行業的精密清洗(xi)，塑料(liao)、橡膠、金屬和陶瓷等(deng)表(biao)面(mian)的活化以及生命(ming)科學實驗等(deng)。

內(nei)置(zhi)高純石英倉體，采用(yong)了(le)(le)新型的電(dian)極結構(gou)設計和(he)固(gu)態電(dian)源(yuan)技(ji)術，使其(qi)有效容(rong)積增大(da)，不同(tong)真空(kong) 氣體環境下容(rong)易匹配，且(qie)控(kong)制頻率(lv)穩定。真空(kong)倉門有觀(guan)(guan)察窗(chuang)，可(ke)(ke)直(zhi)觀(guan)(guan)物體的處理過程，其(qi)射(she)頻電(dian)源(yuan)與(yu)控(kong)制都組裝(zhuang)在一個機(ji)(ji)箱內(nei)，即減少(shao)了(le)(le)空(kong)間的占用(yong)，更便(bian)于(yu)操作和(he)放置(zhi)，同(tong)時與(yu)大(da)型清洗(xi)(xi)機(ji)(ji)相比較(jiao)，從檢測(ce)功(gong)能與(yu)控(kong)制功(gong)能的設置(zhi)上均可(ke)(ke)一個面板上操作，特別適用(yong)科學實驗 樣品清洗(xi)(xi) 和(he)教學。