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產品簡介
等離(li)子清洗(xi)機鄭科(ke)探(tan)KT-S2DQX,用于表面(mian)清洗(xi),活化,刻蝕電源屬(shu)于150W 13.56MHz的(de)(de)射頻電源。作為一種精密(mi)干法清洗(xi)設備，主要應用于半導(dao)體(ti)、鍍膜(mo)工藝(yi)、PCB制(zhi)程(cheng)、PCB制(zhi)程(cheng)、元器(qi)件封裝前(qian)、COG前(qian)、真空電子、連(lian)接器(qi)和(he)繼電器(qi)等行業的(de)(de)精密(mi)清洗(xi)，塑料、橡膠、金(jin)屬(shu)和(he)陶(tao)瓷等表面(mian)的(de)(de)活化以及生命科(ke)學實(shi)驗等。
| 品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子 |
等離子清洗機鄭科探KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機電源屬于150W 13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備，主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
該等離子清洗機鄭科探KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蝕清洗機內置高純石英倉體，容積為2升。采用了新型的外觀結構設計和固態電源技術，使其有效容積增大，不同真空 氣體環境下容易匹配，且控制頻率穩定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時與大型清洗機相比較，從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作，特別適用科學實驗 樣品清洗 和教學。
供電電源 | AC220V（AC110V可(ke)選) |
工作電流 | 整機(ji)工作電流不大于3.5A(不含真(zhen)空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | ＜0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆，手動匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質 | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內徑110MMX深度(du)220MM) |
觀察窗內徑 | Φ65 |
氣體流量 | 10—100ml/min（其(qi)他(ta)量程可選(xuan)） |
過程控制 | 過程手動控制 |
清洗時間 | 手動開關 |
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2個(ge)，不銹(xiu)鋼網匣(xia)1個(ge)，電(dian)源線一(yi)根，說明書一(yi)本。 |
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