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Product Center真(zhen)(zhen)空探針(zhen)臺KT-Z160TZ,高溫(wen)(wen)(wen)真(zhen)(zhen)空腔探針(zhen)系(xi)統主要用(yong)于為被測(ce)(ce)芯片(pian)(pian)提(ti)供(gong)一(yi)個低溫(wen)(wen)(wen)或者高溫(wen)(wen)(wen)的變溫(wen)(wen)(wen)測(ce)(ce)量環(huan)境,以便測(ce)(ce)量分(fen)析溫(wen)(wen)(wen)度變化(hua)時芯片(pian)(pian)性能參(can)數的變化(hua)。腔體內被測(ce)(ce)芯片(pian)(pian)在真(zhen)(zhen)空環(huan)境中有(you)效避(bi)免易(yi)受氧化(hua)半導(dao)體器(qi)件接觸(chu)空氣所帶來的測(ce)(ce)試結(jie)果誤差。
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真空(kong)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)KT-Z160TZ主(zhu)要應(ying)(ying)用(yong)于半(ban)導體行業、光電(dian)行業、集成電(dian)路(lu)以及封裝(zhuang)的(de)(de)測試。探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)從操作(zuo)上(shang)(shang)來區(qu)分有(you):手(shou)動,半(ban)自動,全自動從功(gong)能(neng)(neng)上(shang)(shang)來區(qu)分有(you):溫控(kong)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai),真空(kong)探(tan)(tan) 針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(低溫探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)),RF探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai),LCD平(ping)板探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai),霍爾效應(ying)(ying)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai),表面電(dian)阻率(lv)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)。普(pu)遍應(ying)(ying)用(yong)于復雜、高(gao)速器(qi)件的(de)(de)精密電(dian)氣(qi)測量的(de)(de)研發,旨在確保質(zhi)量及可靠性,并縮減研發時間和器(qi)件制造(zao)工藝(yi)的(de)(de)成本。自動探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)測試臺(tai)(tai)在功(gong)能(neng)(neng)及組(zu)成上(shang)(shang)大同小異,即主(zhu)要由x-y向工作(zuo)臺(tai)(tai),可編程承片臺(tai)(tai)、探(tan)(tan)卡/探(tan)(tan)卡支(zhi)架、打點(dian)器(qi)、探(tan)(tan)邊器(qi)、操作(zuo)手(shou)柄等組(zu)成
高低溫真空 探針臺應用:
可應(ying)用于低溫(wen)或高溫(wen)真(zhen)空環境下被(bei)測(ce)(ce)樣品的電(dian)學性能測(ce)(ce)試分(fen)析(xi),如:半導體/微電(dian)子(zi)(zi),電(dian)子(zi)(zi),機(ji)(ji)電(dian),物理,化學,材料,光電(dian),納米,微機(ji)(ji)電(dian)/MEMS,生物芯片,航(hang)空航(hang)天等科學研(yan)究領域(yu)(yu),以及IC設計/制造/測(ce)(ce)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域(yu)(yu)。
· 結構(gou)緊(jin)湊,適(shi)用(yong)于各種變溫測試(shi)
· -196℃~400℃(配液(ye)氮致(zhi)冷模塊)
· 氣(qi)密腔(qiang)室設計,可通保護氣(qi)氛(fen)
· 4探針,手(shou)動定位(可擴(kuo)展為6個)
· 支持(chi)改動或定(ding)制
真空探針臺KT-Z160TZ參數
真空腔體 | |
腔體(ti)材(cai)質 |
304不銹鋼 |
上蓋開(kai)啟 |
鉸(jiao)鏈側(ce)開 |
加熱臺材質 |
304不銹鋼 |
內腔體尺寸(cun) |
φ160x90mm |
觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
加熱臺(tai)尺寸(cun) |
φ60mm |
觀察窗熱臺間(jian)距 |
75mm |
加(jia)熱臺溫度 |
﹣196~400℃ |
加(jia)熱臺(tai)溫控誤差(cha) |
±1℃ |
真空(kong)度 |
機械泵≤10Pa 分子(zi)泵≤10-3Pa |
允許正壓 |
≤0.1MPa |
真空抽氣口 |
KF25真(zhen)空法蘭 |
氣(qi)體進氣(qi)口 |
3mm-6mm卡套(tao)接頭 |
電(dian)信(xin)號接頭 |
SMA轉BNC X 4 |
電學性能 |
絕(jue)緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐(nai)壓(ya) ≤500V |
探(tan)針數(shu)量 |
4探針 |
探針材質 |
鎢(wu)針 |
探針(zhen)尖 |
10μm |
探針(zhen)移動(dong)平臺 | |
X軸移動(dong)行程 |
30mm ±15mm |
X軸(zhou)控制精度(du) |
≤0.01mm |
Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
Y軸控(kong)制精(jing)度 |
≤0.01mm |
Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
電子顯(xian)微(wei)鏡 | |
顯微鏡類別 |
物(wu)鏡 |
物鏡倍數 |
0.7-4.5倍 |
工作間距(ju) |
90mm |
相機 |
sony 高清 |
像素(su) |
1920※1080像(xiang)素 |
圖像接口(kou) |
VGA |
LED可(ke)調光源 |
有(you) |
顯示屏 |
8寸 |
放大倍數 |
19-135倍,視場(chang)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨(bian)0.08mm |