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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD直流磁(ci)控(kong)濺射儀金屬制備鍍(du)膜

直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜

產品簡介

直(zhi)流(liu)磁(ci)控濺(jian)射儀金屬制備鍍(du)膜,7寸人(ren)機界(jie)面,自動手動模式切換控制,最大功率1000w直(zhi)流(liu)磁(ci)控濺(jian)射

產品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:833
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品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
產地類別國產應用領域綜合

直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜,7寸人機界面,自動手動模式切換控(kong)制,最大功率1000w直流(liu)磁控(kong)濺射

單(dan)靶直流磁(ci)(ci)控濺射鍍膜(mo)儀可用(yong)于制備單(dan)層(ceng)鐵電薄(bo)膜(mo)、導電薄(bo)膜(mo)、合金(jin)薄(bo)膜(mo)等。該單(dan)靶磁(ci)(ci)控濺射鍍膜(mo)儀與同類設備相比,其不僅應用(yong)廣泛,且具有(you)體(ti)積小便于操作的優點(dian),是(shi)一款實(shi)驗室(shi)制備材料薄(bo)膜(mo)的理想設備,特(te)別(bie)適用(yong)于實(shi)驗室(shi)研(yan)究固態(tai)電解質及OLED等

單靶(ba)直流磁控濺射鍍膜儀是我公(gong)司自主研發(fa)的一(yi)款高性價比磁(ci)控濺射鍍膜(mo)設備,具有標準化(hua)、模塊化(hua)、可定制化(hua)的特點。

所配(pei)電源為(wei)1000W大功率直流電源,可用于高能量的金(jin)屬(shu)濺射鍍(du)(du)膜,根據實驗需求也可以(yi)選配其他(ta)規(gui)格的直流或者射頻電源來(lai)實現各種材(cai)料的鍍(du)(du)膜操作(zuo)。

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直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜技術參數;

控(kong)制方式

7寸人機界面 手動(dong) 自(zi)動(dong)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜(mo)功能

0-999秒5段(duan)可變換功率(lv)及(ji)擋板位和樣品(pin)速度程序

功(gong)率(lv)

≤1000W

輸(shu)出電(dian)壓(ya)電(dian)流

電(dian)壓≤1000V  電(dian)流≤1A

真空(kong)

機械泵 ≤5Pa(5分(fen)鐘(zhong))   分(fen)子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺(tai)

可旋轉φ62  (可安(an)裝φ50基(ji)底)

樣品(pin)臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調(diao)節距離

40-105mm

真空測(ce)量

皮拉尼真空計(已(yi)安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yu)留(liu)真空接口

KF25抽氣(qi)(qi)口(kou)    KF16放氣(qi)(qi)口(kou)   6mm卡套進氣(qi)(qi)口(kou)




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