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相關文章(zhang)品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
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樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜,7寸人機界面,自動手動模式切換控(kong)制,最大功率1000w直流(liu)磁控(kong)濺射
單(dan)靶直流磁(ci)(ci)控濺射鍍膜(mo)儀可用(yong)于制備單(dan)層(ceng)鐵電薄(bo)膜(mo)、導電薄(bo)膜(mo)、合金(jin)薄(bo)膜(mo)等。該單(dan)靶磁(ci)(ci)控濺射鍍膜(mo)儀與同類設備相比,其不僅應用(yong)廣泛,且具有(you)體(ti)積小便于操作的優點(dian),是(shi)一款實(shi)驗室(shi)制備材料薄(bo)膜(mo)的理想設備,特(te)別(bie)適用(yong)于實(shi)驗室(shi)研(yan)究固態(tai)電解質及OLED等
單靶(ba)直流磁控濺射鍍膜儀是我公(gong)司自主研發(fa)的一(yi)款高性價比磁(ci)控濺射鍍膜(mo)設備,具有標準化(hua)、模塊化(hua)、可定制化(hua)的特點。
所配(pei)電源為(wei)1000W大功率直流電源,可用于高能量的金(jin)屬(shu)濺射鍍(du)(du)膜,根據實驗需求也可以(yi)選配其他(ta)規(gui)格的直流或者射頻電源來(lai)實現各種材(cai)料的鍍(du)(du)膜操作(zuo)。
直流磁控濺射儀金屬制備鍍膜技術參數;
控(kong)制方式 | 7寸人機界面 手動(dong) 自(zi)動(dong)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜(mo)功能 | 0-999秒5段(duan)可變換功率(lv)及(ji)擋板位和樣品(pin)速度程序 |
功(gong)率(lv) | ≤1000W |
輸(shu)出電(dian)壓(ya)電(dian)流 | 電(dian)壓≤1000V 電(dian)流≤1A |
真空(kong) | 機械泵 ≤5Pa(5分(fen)鐘(zhong)) 分(fen)子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺(tai) | 可旋轉φ62 (可安(an)裝φ50基(ji)底) |
樣品(pin)臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調(diao)節距離 | 40-105mm |
真空測(ce)量 | 皮拉尼真空計(已(yi)安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預(yu)留(liu)真空接口 | KF25抽氣(qi)(qi)口(kou) KF16放氣(qi)(qi)口(kou) 6mm卡套進氣(qi)(qi)口(kou) |