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Product CenterKT-S2DQX型等離子設備清屬于13.56MHz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備,主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。 該(gai)等離子設備清(qing)洗機系統倉體,容積為(wei)(wei)2升,結(jie)(jie)構為(wei)(wei)國際上(shang)的通用(yong)結(jie)(jie)構。采用(yong)了(le)新型的外(wai)觀(guan)結(jie)(jie)構設計和固態電(dian)源技術,使其有(you)效(xiao)容積增大
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相關(guan)文章品牌 | 鄭科探 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 電子 |
供電電源 | AC220V(AC110V可選(xuan)) |
工作(zuo)電流 | 整機工作電流(liu)不大(da)于3.5A(不(bu)含真空(kong)泵) |
射頻電源(yuan)功(gong)率 | 150W |
射頻頻率(lv) | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性(xing)阻抗(kang) | 50歐姆,手動匹配(pei) |
耦合方式 | 感應耦合(he)式(線圈耦合(he)) |
真空(kong)度 | ≤100Pa |
腔體(ti)材質 | 高純石英 |
腔(qiang)體容積(ji) | 2L(內徑(jing)110MMX深度220MM) |
觀察窗內徑 | Φ70 |
氣體(ti)(ti)流量 | 10—600ml/min(其他量(liang)程可選) |
過程控制 | 過程手動控制 |
清洗時間 | 手動開關 |
開蓋方式 | 鉸(jiao)鏈側開式(shi)法蘭 |
外形尺寸(cun) | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷(leng)卻方式(shi) | 強制風冷(leng) |
標配 | KF16波紋管1米,kf16卡(ka)箍2個(ge),電源(yuan)線一(yi)根,說明書一(yi)本。 |